Scaling potential and MOSFET integration of thermally stable Gd silicate dielectrics
- H. D.B. Gottlob
- , M. Schmidt
- , A. Stefani
- , M. C. Lemme
- , H. Kurz
- , I. Z. Mitrovic
- , W. M. Davey
- , S. Hall
- , M. Werner
- , P. R. Chalker
- , K. Cherkaoui
- , P. K. Hurley
- , J. Piscator
- , O. Engström
- , S. B. Newcomb
Research output: Contribution to journal › Article › peer-review